四極質譜儀用于監(jiān)控過程氣體和基本真空條件的工具是Transpector XPR3L氣體分析系統(tǒng)提供的經濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監(jiān)控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。
 

　　一、四極質譜儀的功能：
 

　　通過運行高達 10mTorr(可選 20mTorr)的 UHV，提供經濟實惠的雙用功能、過程監(jiān)控和基本真空保證；
 

　　經濟高效的過程監(jiān)控器，可用于可擴展的生產設計；
 

　　通過持續(xù)自動監(jiān)控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質，提高過程良率，減少碎片，提高產品質量；
 

　　通過以高靈敏度和較小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復，提高生產力；
 

　　可在 1 - 100 amu 質量范圍內運行，能夠檢測各種材料、污染或副產品，確保您的投資安全，降低投資風險；
 

　　與 FabGuard 監(jiān)控和分析系統(tǒng)相兼容，提供可靠、先進的診斷和過程控制。
 

　　二、四極質譜儀的典型應用:
 

　　太陽能/光伏設備制造
 

　　LCD 制造
 

　　PVD 過程監(jiān)控
 

　　監(jiān)控過程氣體壓力和氣體比率
 

　　暴露和鑒別污染
 

　　檢測和查找泄漏(空氣、氦氣、水及其他蒸汽)
 

　　PM 恢復/故障排除和驗證基本真空